半導體設備ZSX Primus400日本理學Rigaku熒光射線分析儀
半導體設備日本理學Rigaku熒光射線分析儀

掃描式熒光X射線分析儀

產(chǎn)品型號：ZSX Primus400
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2024-09-29
訪問量：202

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Rigaku理學

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詳細介紹

半導體設備日本理學Rigaku熒光射線分析儀

一種熒光射線分析儀，可以使用各種適配器測量各種形狀的樣品和多個樣品。

除了能夠測量大直徑樣品（φ400 mm x 50 mm）外，還可以測量質(zhì)量達30 kg的樣品，非常適合濺射靶材、磁盤分析、多層膜測量或元素分析大樣本。這是一種熒光X射線分析儀，可以使用各種適配器測量各種形狀的樣品和多個樣品。配備了ZSX Primus系列成熟的軟件“ZSX Guidance"，實現(xiàn)了出色的可操作性和可維護性。配備了人為錯誤預防功能，即使是初學者也能獲得準確的分析結(jié)果。
還可以在用內(nèi)置高分辨率相機觀察樣品圖像的同時測量位置并進行點映射測量。我們滿足包括輕和超輕元素在內(nèi)的高精度測繪測量的需求。

ZSX Primus400 特點

多種樣品適配器，適用于大直徑樣品、不規(guī)則形狀樣品和多個樣品

可直接測量直徑為 400mm x 50mm 的樣品。無需將珍貴的樣品加工成更小的尺寸。我們還提供可同時設置多個樣品的樣品適配器和可容納不規(guī)則形狀樣品的樣品適配器。

可測元素Be~U

真空度控制機構APC（自動壓力控制）可穩(wěn)定測量部分的真空度，從而可以高精度測量包括超輕元素在內(nèi)的輕元素。

使用波長色散系統(tǒng)進行點映射分析

采用r-θ驅(qū)動樣品臺。利用內(nèi)置高精度相機（500萬像素）確認分析部位的同時，可以利用波長色散法優(yōu)異的光譜分辨率，進行精確的點映射測量，映射位置分辨率為100微米，甚至對于超輕元素。

ZSX制導軟件

它是一款適合初學者的軟件，可讓您使用可視屏幕執(zhí)行高級分析。有關熒光 X 射線分析技術的專業(yè)知識已融入整個系統(tǒng)，包括支持創(chuàng)建定量應用的評估程序。

預防人為錯誤

ZSX Gudance 具有人為錯誤預防功能，允許您為每個操作員設置軟件訪問級別，從而允許任何人使用易于使用的操作屏幕進行測量。

光學保護

ZSX Primus400是一款底照式X射線熒光分析儀，其中從X射線管到探測器的光學系統(tǒng)放置在被測樣品的下方。為了防止即使在測量過程中樣品掉落也會損壞光學系統(tǒng)，在樣品和X射線管之間放置了鈹濾光片以保護X射線管，并在樣品和準直器之間放置了保護膜。我是。

ZSX Primus400 規(guī)格

產(chǎn)品名稱	ZSX Primus400
方法	波長色散射線熒光分析 (WDXRF)
目的	固體、粉末、合金和薄膜的元素分析
技術	掃描波長色散 X 射線熒光分析 (WDXRF)
主要部件	3/4 kW 密封射線管，r-theta 臺
選項	用于附加分析的晶體、各種樣品架、相機
控制（電腦）	外部 PC、MS Windows® 操作系統(tǒng)、ZSX 指導軟件
機身尺寸	1376（寬）x 1439（高）x 890（深）毫米
重量	約800公斤（本體）
電源	三相 200 VAC 50/60 Hz，8 kW

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一種熒光射線分析儀，可以使用各種適配器測量各種形狀的樣品和多個樣品。

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