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玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku高精度測(cè)角儀
簡(jiǎn)要描述：

玉崎科學(xué)TFXRD-300半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku高精度測(cè)角儀
玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku高精度測(cè)角儀

用于 300 mm 晶圓全圖繪制的 射線衍射 (XRD) 系統(tǒng)

  • 產(chǎn)品型號(hào)：TFXRD-300
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間：2024-09-29
  • 訪  問(wèn)  量：146

詳細(xì)介紹

玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku高精度測(cè)角儀

玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku高精度測(cè)角儀


TFXRD-300是一款用于測(cè)量大直徑晶圓薄膜的專用X射線衍射工具，可測(cè)量薄膜厚度、結(jié)晶度、化合物材料的成分比、外延片的晶格弛豫等。



TFXRD-300 概述

具有可選光學(xué)器件的高精度測(cè)角儀

該 XRD 系統(tǒng)適用于所有薄膜 XRD 應(yīng)用，并具有 XY 可移動(dòng)平臺(tái)，可繪制最大 300 mm 的晶圓。

我們的系統(tǒng)可確保您的樣品保持完好無(wú)損，使您能夠毫無(wú)問(wèn)題地進(jìn)行額外的實(shí)驗(yàn)和分析。為您的所有研究和開(kāi)發(fā)需求提供最準(zhǔn)確、可靠的結(jié)果。

適用于近晶圓廠應(yīng)用的 XRD 系統(tǒng)映射工具

它可用于改進(jìn)材料分析、加強(qiáng)質(zhì)量控制和優(yōu)化制造工藝。

薄膜

  • 精確的厚度和成分

  • 水晶信息

  • 應(yīng)力應(yīng)變分析

  • 無(wú)損性能評(píng)價(jià)

  • 多層分析

  • 先進(jìn)材料開(kāi)發(fā)

XRR 厚度專用系統(tǒng)

確定薄膜、涂層和多層結(jié)構(gòu)的厚度、密度和界面粗糙度。

GaAs(004)、立方GaN(002)、六方GaN(0004)特性評(píng)估

精確分析晶體取向并控制材料生長(zhǎng)和加工，以實(shí)現(xiàn)電子和光電器件所需的性能。


TFXRD-300 規(guī)格

方法射線衍射 (XRD)、搖擺曲線 (XRC) 和反射法 (XRR)
目的適用于大型晶圓（200 毫米、300 毫米）的高精度測(cè)角儀和全映射 XY 平臺(tái)
技術(shù)大支架高精度θ-2θ水平測(cè)角儀
主要部件適用于最大 300 mm 晶圓的全映射 XY 平臺(tái)
選項(xiàng)PhotonMax 高強(qiáng)度 9 kW 旋轉(zhuǎn)對(duì)陰極 X 射線源
共焦最大通量 800 W 旋轉(zhuǎn)對(duì)陰極 X 射線源
HyPix-3000 高能量分辨率 2D HPAD 探測(cè)器
控制（電腦）外部 PC、MS Windows 操作系統(tǒng)、SmartLab Studio II 軟件
機(jī)身尺寸約 1900（寬）x 2200（高）x 1900（深）毫米
大量的約1600公斤
電源3?，200 V，50/60 Hz，30 A（封裝管）或 60 A（9 kW 旋轉(zhuǎn)陽(yáng)極）


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