欧美a视频,欧美日韩黄色一道本,国产中文字幕在线观看不卡一区二区,欧美日韩国色

全國服務(wù)咨詢熱線:

0755-26803456

當(dāng)前位置：首頁  >  產(chǎn)品中心  >  Rigaku理學(xué)  >  半導(dǎo)體測量設(shè)備  >  XTRAIA XD-3200玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度

玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度
簡要描述：

玉崎科學(xué)XTRAIA XD-3300半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度
玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度

在線 HRXRD/XRR 測量工具

  • 產(chǎn)品型號：XTRAIA XD-3200
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2024-09-29
  • 訪  問  量：122

詳細(xì)介紹

玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度

玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度


毯式晶圓和圖案晶圓的高分辨率 XRD 外延膜表征

XTRAIA XD-3200 是一款多功能  射線計量工具，可在大批量生產(chǎn)中以高通量對毯式和圖案化 300 mm 和 200 mm 晶圓上的單層和多層薄膜進(jìn)行無損分析。

測量結(jié)果包括通過  射線反射率 (XRR) 測量的膜厚度、密度和粗糙度，以及通過高分辨率 XRD (HRXRD) 測量的外延膜厚度、成分、應(yīng)變、晶格弛豫和結(jié)晶度。


XTRAIA XD-3200 概述

適用于各種毯式晶圓應(yīng)用的  射線計量解決方案

晶體管（SiGe）、LED/LD（GaN、GaAs、InP）、MEMS/傳感器（PZT、AlN）、新型存儲器（GST）、金屬膜、多層膜

這種*的  射線計量工具能夠在大批量生產(chǎn)中對 300 毫米（和 200 毫米）無層晶圓（從超薄單層到多層堆疊）進(jìn)行高速測量。

XTRAIA 的性能歸功于

XTRAIA XD-3200 提供：

  • 使用  射線反射率 (XRR) 評估所有類型的單層和多層薄膜（非晶、多晶、外延）的厚度、密度和粗糙度。

  • 高分辨率 X 射線衍射 (HRXRD) 用于通過搖擺曲線 (RC) 和倒易空間映射 (RSM) 測量來評估外延膜的厚度、成分、應(yīng)變和結(jié)晶度。
  • 可以使用 1/4× 支架測量扭轉(zhuǎn)/傾斜角和晶體取向（極點）。

XTRAIA XD-3200 特點

用于高效處理和過程監(jiān)控的內(nèi)聯(lián)功能
300 mm 和 200 mm 晶圓兼容性
采用高功率 (9 kW) 旋轉(zhuǎn)陽極 X 射線源
配備2D探測器，精確采集數(shù)據(jù)
用于靈活樣品定位的載物臺和測角儀
*的分析軟件提供全面的數(shù)據(jù)解釋支持
適用于大批量制造 (HVM) 的工廠自動化功能（GEM300、E84/OHT 支持）



產(chǎn)品咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品：

  • 您的單位：

  • 您的姓名：

  • 聯(lián)系電話：

  • 常用郵箱：

  • 省份：

  • 詳細(xì)地址：

  • 補充說明：

  • 驗證碼：

    請輸入計算結(jié)果（填寫阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

全國統(tǒng)一服務(wù)電話

19270095986

電子郵箱：209023083@qq.com

公司地址：龍華街道龍華大道906號電商集團(tuán)7層

掃碼加微信