工作壓力

最大1.33kPa

源罐容量

2.7升

熱調(diào)節(jié)方式

熱調(diào)節(jié)器進(jìn)行 PID 控制

液面檢測(cè)方法

浮動(dòng)開(kāi)關(guān)

內(nèi)部質(zhì)量流量控制器

SEC-8400 系列

氣壓閥

波紋管型

液體連接和氣體接觸區(qū)域的材料

SUS316L, PFA

工作溫度

20 至 35 °C

外部輸入

氣壓閥開(kāi)/關(guān)、質(zhì)量流量控制器流量設(shè)定信號(hào)（0 至 5 V DC/0 至 100% FS）、緊急停止信號(hào)、自動(dòng)調(diào)零信號(hào)（選項(xiàng)）

外部輸出

溫度報(bào)警、液位HH報(bào)警、液位信號(hào)（H、M、L）、READY信號(hào)、質(zhì)量流量控制器流量輸出信號(hào)（（0～5V DC/0～100％FS）、恒溫槽內(nèi)風(fēng)扇停止報(bào)警、閥門(mén)電壓監(jiān)視器（選配）

電源

AC100V、單相50/60Hz、1.5kVA

其他

自動(dòng)充電系統(tǒng)：可連接到LU系列。

* 流量控制范圍根據(jù)液體的種類而變化。

* SCCM 和 SLM 是表示氣體流速（0°C、101.3 kPa 時(shí)為 mL/min、L/min）的符號(hào)。