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詳細(xì)介紹
HOBIBA堀場(chǎng)玉科全新自動(dòng)范圍切換濃度監(jiān)測(cè)器
HOBIBA堀場(chǎng)玉科全新自動(dòng)范圍切換濃度監(jiān)測(cè)器
在線(xiàn)傳感器和自動(dòng)范圍切換濃度監(jiān)測(cè)器
傳感器與 PFA(全氟烷氧基)接液部件相結(jié)合,尺寸優(yōu)化到絕對(duì)極限。它還可以處理高達(dá) 50% HF 濃度的大范圍測(cè)量,符合半導(dǎo)體工藝的衛(wèi)生要求。
寬范圍兼容
從低濃度到高濃度(高達(dá) 50% HF 濃度)的自動(dòng)量程功能可在每個(gè)目標(biāo)濃度下實(shí)現(xiàn)最佳測(cè)量性能。
無(wú)污染
采用具有衛(wèi)生結(jié)構(gòu)的傳感器,僅使用 PFA 作為接液材料。作為一種耐化學(xué)腐蝕的傳感器,它能夠測(cè)量半導(dǎo)體工藝中使用的各種化學(xué)品。
高穩(wěn)定性/再現(xiàn)性精度
它實(shí)現(xiàn)了 ±0.5% FS 的重現(xiàn)精度。
型號(hào)名稱(chēng) | HF-960EM 系列 |
---|---|
測(cè)量范圍 | HF: 0 - 50%, HCl: 0 - 10%, 電導(dǎo)率: 0 - 2000 mS/cm |
重復(fù)性 | +/- 0.5% F.S.(等效輸入) |
線(xiàn)性 | +/- 0.5% F.S.(等效輸入) |
傳輸輸出 | 輸出數(shù)量:4 |
觸點(diǎn)輸出 | 輸出:5 點(diǎn) |
通信輸出 | RS-485 系列 |
電源 | 直流 24 伏 +/- 10% 15W |
兼容的傳感器 | CM-520 系列 |
傳感器的接液材料 | PFA 系列 |
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