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HOBIBA堀場原裝光纖式熱磷酸濃度監(jiān)測儀
簡要描述：

HOBIBA堀場CS-620F原裝光纖式熱磷酸濃度監(jiān)測儀
HOBIBA堀場原裝光纖式熱磷酸濃度監(jiān)測儀

  • 產(chǎn)品型號：CS-620F
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時間：2025-02-12
  • 訪  問  量：73

詳細(xì)介紹

HOBIBA堀場原裝光纖式熱磷酸濃度監(jiān)測儀

HOBIBA堀場原裝光纖式熱磷酸濃度監(jiān)測儀

光纖式熱磷酸濃度監(jiān)測儀

CS-620F 系列

磷酸濃度監(jiān)測儀，無需冷卻即可實(shí)時測量高溫磷酸。

非常適合管理磷酸濃度，主要用于 3D NAND 閃存 SiN 層的蝕刻工藝*1，這是半導(dǎo)體制造工藝的一部分。
*1 SiN 層：在硅晶片和類似襯底上形成的由硅和氮化合物組成的薄膜。

產(chǎn)品名稱化學(xué)溶液監(jiān)測儀
型CS-620F 系列
測量原理吸收光譜法
計(jì)算原理溫度補(bǔ)償型多變量分析
樣本H3采購訂單4/小時2O

可測量范圍
重復(fù)性


元件可測量范圍
（mass%）		重復(fù)性
（mass%）		模擬輸出
范圍（質(zhì)量%）
第 1 個解決方案H3采購訂單485.00-92.00+/-0.1085.00-100.00
H2O8.0-15.0+/-0.30.0-15.0
? 重復(fù)性由平均值（1 小時）的最大誤差定義。
? 使用相同化學(xué)品進(jìn)行低溫測量 （140°C） 和高溫測量 （170°C） 時，
可能會有差異（最大 +/- 0.30%）。
測量條件
1） 測量間隔：約 3 秒（最?。?br _istranslated="1" style="box-sizing: border-box;"/>2） 移動平均：16 次
連接配件尺寸1 英寸或 3/4 英寸
樣品條件樣品溫度：140 至 170°C
大氣溫度、化學(xué)溫度波動：+/- 1°C 以內(nèi)（時間：1 小時）
輸入壓力：0.2 MPa 或更低
壓力波動：0.02 MPa 或更低
流量：1 至 30 L/min
空氣（用于作和吹掃）連接端口：4 mm 外徑快速接頭
壓力：0.2 MPa ± 0.02 MPa
電源100 至 230 V AC（單相），50/60 Hz
功耗約 85 VA（不包括啟動時的瞬態(tài)電流）
通信并行 I/O、RS-232C、模擬輸出
尺寸（監(jiān)視器） 200 （W） × 308 （D） × 78 （H） mm
（燈單元） 200 （W） × 262 （D） × 100 （H） mm
（樣品池） 240 （W） × 209 （D） × 205 （H） mm
重量（監(jiān)視器）約 3.6 kg
（燈單元） 約 2.8 kg
（樣品池） 約 3.0 kg
環(huán)境溫度（監(jiān)視器、燈單元） 20 至 30°C
（光纖、樣品池） 20 至 100°C
* 應(yīng)避免溫度突然變化，在 +/- 1°C/1 小時內(nèi)
環(huán)境濕度（顯示器、燈單元） 40 至 70%（應(yīng)無結(jié)露）
安裝傾斜角度（顯示器、燈單元）+/-1 度
以內(nèi)（樣品池） 請安裝，以免氣泡停留。
光纖長度： 5 m， 彎曲半徑： R150 mm


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