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日本進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵
簡要描述：

日本進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科HR60/HR90/HR300/HR600多級羅茨干式真空泵
日本進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵

  • 產(chǎn)品型號：HR60/HR90/HR300/HR600
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2024-11-25
  • 訪  問  量：141

詳細(xì)介紹

日本進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵

日本進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵


通過在高溫范圍內(nèi)均勻加熱泵體，
泵能夠?qū)VD、蝕刻等過程中產(chǎn)生的升華廢氣物質(zhì)以氣態(tài)排出。

特征


  • 可以將在高溫區(qū)域的均熱CVD、蝕刻等中產(chǎn)生的升華廢氣以氣態(tài)排出。
    UR系列可以達(dá)到比HR系列更高的溫度。


  • 配備氦氣密閉電機(jī)，密封結(jié)構(gòu)，安全性高。

  • 瞬時停電對策
    我們采取了防止1000毫秒內(nèi)瞬時停電的措施。

  • 優(yōu)異的耐腐蝕性
    主要部件標(biāo)準(zhǔn)采用表面硬度高、耐腐蝕性優(yōu)異的特殊表面處理。當(dāng)腐蝕性氣體排出時，減少泵內(nèi)部的腐蝕。

  • 通訊功能
    可以讀取有關(guān)泵運(yùn)行狀態(tài)和警告/警報歷史記錄的數(shù)據(jù)。通過使用專用軟件并與計算機(jī)通信，可以進(jìn)行集中監(jiān)控。

用途

  • CVD 裝置

  • 蝕刻設(shè)備

  • 灰化裝置

  • 酒精性肝病 (ALD)、酒精性肝炎 (ALH) 等

規(guī)格

模型HR60HR90HR300HR600HR1200
使用泵決策支持系統(tǒng)HR60HR90HR60HR90HR90
甲基丙烯酸甲酯--PRC-003APRC-006APRC-012A
最大
抽速　		50赫茲立方米/小時（升/
分鐘）		62（1030）112（1860年）359（5,980）653(10,900)1,012(16,900)
60赫茲立方米/小時（升/
分鐘）		80（1333）126（2100）365（6,080）701（11,700）1,051(17,500)
到達(dá)圧力出色地50.67　　　　　
最大入口壓力
（吸入壓力）
大氣壓*1
最大排氣口壓力
（排出壓力）		出色地1~大氣壓
進(jìn)氣口（CE規(guī)格）VG50(KF50)VG80 (KF50)VG80 (KF80)VG100(KF100)
排氣口KF40
質(zhì)量公斤180245275370420
電力三相交流電壓(赫茲)200(50/60), 220(60)
當(dāng)前值穩(wěn)定狀態(tài)一個7.1
(200V時)		11.2
(200V時)		7.8
(200V時)		12.9
(200V時)		15.4
(200V時)
最大值一個7.3
(200V時)		11.8
(200V時)		8.1
(200V時)		13.8
(200V時)		18.9
(200V時)
冷卻水暫壓兆帕0.1~0.3
冷卻水進(jìn)出水壓差兆帕>0.1
冷卻水流量升/分鐘>5.0
吹掃氣體一次壓力兆帕0.1~0.5
二次壓力兆帕0.05~0.1
氮?dú)?/span>吹掃軸空間光調(diào)制器5
加斯巴拉空間光調(diào)制器0~45

*1 對于 HR300、HR600 和 HR1200，請勿在吸入壓力 200Pa 或更高的情況下連續(xù)運(yùn)行。


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