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詳細(xì)介紹
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體立式真空熱處理爐
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體立式真空熱處理爐
可廣泛用于各種金屬零件的淬火、回火、退火等真空熱處理。提升機(jī)構(gòu)可實現(xiàn)節(jié)省空間的兩室結(jié)構(gòu):加熱室和制備/冷卻室??梢赃B續(xù)記錄產(chǎn)品從加熱到冷卻完成的溫度,以便控制產(chǎn)品質(zhì)量。
最高溫度為1350℃,可在800至1150℃的常規(guī)溫度下使用。
熱均勻性保證在 1150°C ± 5°C 范圍內(nèi)。
加熱室始終保持真空,從而能夠以良好的再現(xiàn)性進(jìn)行高質(zhì)量的熱處理。
當(dāng)熱電偶安裝在產(chǎn)品上時,可以執(zhí)行從加熱到冷卻的一系列熱處理,從而實現(xiàn)高質(zhì)量控制,作為管理產(chǎn)品熱歷史的一種手段。
采用旋轉(zhuǎn)冷卻機(jī)構(gòu)(選配),非常適合拉刀(刀具)等長而薄的產(chǎn)品的吊掛加工。
調(diào)質(zhì)處理:各種工具鋼、機(jī)械零件、飛機(jī)零件
釬焊加工:熱交換器、機(jī)械零件、飛機(jī)零件、真空斷路器
模型 | 四十五 | 60 | 90 | 120 | 評論 | ||
性能 | |||||||
尺寸 | 均勻加熱尺寸[mm] | 直徑 | 450 | 600 | 900 | 1200 | |
高度 | 450 | 600 | 900 | 1200 | |||
最大處理能力[公斤] | 180 | 320 | 900 | 1200 | 包括托盤重量 | ||
溫度 | 最高溫度 | 1350℃ | |||||
常用溫度 | 800?1150℃ | ||||||
均熱性 | 1150℃±5℃以內(nèi)(符合AMS等標(biāo)準(zhǔn)) | 在空爐中測量 5 個點 | |||||
冷卻 | 氣體冷卻 | 93kPa | 30分鐘內(nèi) | 插入標(biāo)準(zhǔn)樣品時從 1150°C 到 150°C | |||
190千帕 | 20分鐘內(nèi) | ||||||
真空 | 到達(dá)圧力 | 10 -1 Pa(10 -3 Torr)級(高真空10 -3 Pa(10 -5 Torr)級可選) | 空爐脫氣后的值 | ||||
常壓 | 133?13帕斯卡 (1?10 -1托爾) | ||||||
排氣時間 | 10分鐘內(nèi) | 15分鐘內(nèi) | 在空氣爐中從大氣壓到6.5Pa(5×10 -2 Torr) | ||||
泄漏量(Pa?m 3 /S) | 3×10 -4 | 4×10 -4 | 5×10 -4 | 由于壓力增加 | |||
使用諸元 | |||||||
所用電力(kVA) | GH* | 65 | 101 | 209 | 278 | AC 200/ 220V | |
所用冷卻水量 | GH* | 3 | 5 | 9 | 16 | 壓力 250KPa 水溫 30℃以下 | |
壓縮空氣量[Nm 3 /min] | 有些 | 700千帕 | |||||
載氣量[L/min] | 1.5 | 2.2 | 7.2 | 10 | 氮氣(NTP ) | ||
冷卻氣體量[m 3 /次] | 1.8 | 3 | 6 | 10 | 氮氣(NTP ) | ||
建筑面積(平方米) | 2室 GH* | 3.4×5.1 | 4×6.3 | 6×9 | 7×10 | W×L | |
3.5×2.3 | 4×2.6 | 5×3.5 | 6×4 | 高×深 |
* 爐型:P=準(zhǔn)備室、H=加熱室、G=氣冷室、L=油冷室
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