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日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備
簡要描述：

日本ULVAC愛發(fā)科NE-5700/NE-7800半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備

  • 產(chǎn)品型號：NE-5700/NE-7800
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2024-11-25
  • 訪  問  量：108

詳細(xì)介紹

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備



批量生產(chǎn)的干法刻蝕設(shè)備NE-5700/NE-7800

適合量產(chǎn)的NE-5700/NE-7800干法刻蝕設(shè)備是一款可擴展的刻蝕設(shè)備，支持從一個腔室到多個腔室，強調(diào)性價比。


特征

  • 除1個腔體外，還可配備磁場ICP（ISM）、NLD等離子體源、灰化腔體、CCP腔體，兼容多種刻蝕工藝。

  • 配備星形電極和各種溫度控制功能，可實現(xiàn)過程的再現(xiàn)性和穩(wěn)定性。

  • 易于維護(hù)的結(jié)構(gòu)，停機時間最短，全面的備份系統(tǒng)，包括再生清潔、零件供應(yīng)、維護(hù)和培訓(xùn)服務(wù)。

  • 半導(dǎo)體技術(shù)研究院提供完善的工藝支持系統(tǒng)。

目的

  • 化合物（LED、LD、高頻器件）和功率器件（IGBT 布線加工、SiC 加工）。

  • 用于金屬布線、層間絕緣膜（樹脂類）、柵電極加工工序。

  • 用于蝕刻鐵電材料和貴金屬。

  • 用于加工磁性材料。

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