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玉崎科學半導體設(shè)備理學Rigaku高精度測角儀
簡要描述：

玉崎科學XRTmicron半導體設(shè)備理學Rigaku高精度測角儀
玉崎科學半導體設(shè)備理學Rigaku高精度測角儀

高通量、高分辨率射線形貌成像系統(tǒng)

  • 產(chǎn)品型號：XRTmicron
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2024-09-29
  • 訪  問  量：239

詳細介紹

玉崎科學半導體設(shè)備理學Rigaku高精度測角儀

玉崎科學半導體設(shè)備理學Rigaku高精度測角儀


位錯、表面穿透位錯、外延層缺陷等晶體缺陷的無損檢測

該形貌測量系統(tǒng)通過采用新型高亮度微型射線光源、特殊的射線鏡面光學系統(tǒng)以及高分辨率、高分辨率的X射線相機，可以將測量時間縮短一個數(shù)量級與傳統(tǒng)方法相比。從樣品設(shè)置到測量的一切都可以自動完成。
它可以無損檢測晶體缺陷，例如位錯、表面穿透位錯以及外延層缺陷。適用于Si、SiC、GaN、Ge、GaAs、石英、LN、LT、藍寶石、金紅石、螢石等各種單晶材料。


XRTmicron 概述

采用高亮度微型X射線光源

用于透射形貌圖的Mo射線源和用于反射形貌圖的Cu射線源可以通過計算機控制進行切換。

采用特殊射線鏡光學系統(tǒng)

使用多層膜平行光束準直器生成單色/平行光束。

與晶體準直器兼容

高度平行的 X 射線束使我們能夠獲得對晶格畸變敏感的反射形貌。

切換方便

您可以通過計算機輕松地在觀察晶體內(nèi)部的透射形貌圖和觀察表面附近缺陷的反射形貌圖之間進行切換。


使用高分辨率 X 射線 CCD 相機采集數(shù)字圖像。

使用形貌圖像的晶體缺陷分析軟件。

兼容各種晶圓尺寸。兼容 3、4、6、8、12 和 18 英寸。

它可以水平放置樣品，還可以自動傳輸 3、4、6、8 和 12 英寸晶圓。

自動曲率校正機制甚至可以根據(jù)曲率程度拍攝彎曲的晶體。

XRT微米規(guī)格

產(chǎn)品名稱XRT微米
方法射線形貌成像
目的單晶材料的無損評價
技術(shù)在透射和反射形貌之間切換
主要部件高亮度微型X射線光源、專用X射線鏡光學系統(tǒng)、高分辨率/高分辨率X射線相機
選項HR-XTOP 相機、晶體準直器、傳送帶、晶體缺陷軟件
控制（電腦）外部 PC、MS Windows® 操作系統(tǒng)
機身尺寸1800（寬）×1980（高）×1950（深）（毫米）
大量的約2200公斤（本體）
電源要求三相200V，15A


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