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產(chǎn)品型號(hào)：MV-2000廠商性質(zhì)：代理商更新時(shí)間：2025-02-12訪 問(wèn) 量：107
產(chǎn)品分類
CLASSIFICATION
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詳細(xì)介紹
HOBIBA堀場(chǎng)原廠混合噴射系統(tǒng)液體蒸發(fā)器
HOBIBA堀場(chǎng)原廠混合噴射系統(tǒng)液體蒸發(fā)器
混合噴射系統(tǒng)液體蒸發(fā)器
MV-2000 使用新的龍卷風(fēng)流法，即使在低溫下也能實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的汽化。這適用于汽化各種液體，甚至是具有挑戰(zhàn)性的源，例如“High-k"，一種易于熱解的液體源。
使用新的旋流法在低溫下穩(wěn)定蒸發(fā)
更高的流速汽化（添加穩(wěn)定性數(shù)據(jù)）
可以汽化容易熱解的液體源
| 型 | MV-2000 系列 |
|---|---|
| 液體材料 | 除對(duì)不銹鋼有腐蝕性的液體（例如 HCl、HF）外的所有液體 |
| 設(shè)定溫度 | 按汽化條件（控制閥 ： 最高 140 °C 汽化器 ： 最高 200 °C） |
| 泄漏完整性 | ≤ 1 × 10-8 Pa·m3 /s （He） |
| 內(nèi)部泄漏標(biāo)準(zhǔn) | ≤ 1 × 10-6 Pa·m3 /s （He） |
| 接液部件 | SUS316L 、 PFA |
| 溫度傳感器 | K 型熱電偶 （CA） |
| 耐壓性 | 1MPa（克） |
| 標(biāo)準(zhǔn)接頭 | 液體入口：1/8 VCR 型 外螺紋 載氣入口：1/4 VCR 型 內(nèi)螺紋 氣體出口：1/2 VCR 型 外螺紋 |
| 工作溫度 | 15 - 50 °C |
| 選擇 | 空氣閥（內(nèi)漏標(biāo)準(zhǔn)：≤ 1×10-9 Pa·m3 / s（He）） |
產(chǎn)生的流量可能因液體材料、生成量、生成條件等而異
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