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日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體光電干法刻蝕設(shè)備
簡(jiǎn)要描述：

日本ULVAC愛發(fā)科NLD-5700半導(dǎo)體光電干法刻蝕設(shè)備
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體光電干法刻蝕設(shè)備

  • 產(chǎn)品型號(hào)：NLD-5700
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間：2024-11-25
  • 訪  問  量：167

詳細(xì)介紹

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體光電干法刻蝕設(shè)備

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體光電干法刻蝕設(shè)備



用于光電器件和MEMS的
干法刻蝕設(shè)備NLD-5700

用于光器件和MEMS的NLD-5700干法刻蝕系統(tǒng)是配備磁中性線等離子體（NLD）源的用于大規(guī)模生產(chǎn)的干法刻蝕系統(tǒng)。 （采用磁中性線等離子體（NLD）的低壓、低電子溫度、高密度等離子體的干式蝕刻設(shè)備，由ULVAC原創(chuàng)開發(fā)。）


特征

  • 通過在潔凈室內(nèi)工作，潔凈室可以擴(kuò)展到兩個(gè)房間（NLD、磁場(chǎng)ICP、CCP和灰化室）。

  • NLD是一種可以在空間和時(shí)間上控制的等離子體，因此干洗很容易。

  • 實(shí)現(xiàn)輕松的腔室維護(hù)。

  • 我們提供從掩模蝕刻到石英和玻璃蝕刻的工藝解決方案。

  • 半導(dǎo)體技術(shù)研究院提供完善的工藝支持系統(tǒng)。

用途

  • 光學(xué)器件（衍射光柵、調(diào)制器、光波導(dǎo)、光開關(guān)等）、不均勻微透鏡。

  • 流體路徑創(chuàng)建 (μ-TAS) 和光子晶體。


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