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日本ULVAC愛發(fā)科大型設(shè)備濺射SV-9045
簡要描述：

日本ULVAC愛發(fā)科SV-200 SV-4540 SV-6040 大型設(shè)備濺射SV-9045
日本ULVAC愛發(fā)科大型設(shè)備濺射SV-9045

SV系列是立式間歇式濺射裝置。 有磁盤壓模專用的SV-200，以及可處理大量基板的轉(zhuǎn)盤式。

  • 產(chǎn)品型號：SV-200 SV-4540 SV-6040
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時間：2024-11-25
  • 訪  問  量：224

詳細介紹

日本ULVAC愛發(fā)科大型設(shè)備濺射SV-9045

日本ULVAC愛發(fā)科大型設(shè)備濺射SV-9045



間歇式濺射設(shè)備SV系列


特征

  • SV-4540、6040和9045為轉(zhuǎn)盤式，具有較大的電路板裝載能力，非常適合中小型或小批量、多品種生產(chǎn)。

  • SV-200 圓盤壓模機 鎳膜沉積專用設(shè)備，超緊湊、全自動、高產(chǎn)量。

目的

  • 在各種基材上沉積電極膜、絕緣膜和介電膜

規(guī)格


SV-200SV-4540SV-6040SV-9045
標(biāo)準(zhǔn)排氣系統(tǒng)8"低溫泵12"低溫泵12"低溫泵16"低溫泵
極限壓力6.7e-5Pa6.7e-5Pa6.7e-5Pa6.7e-5Pa
車廠方向邊邊邊邊
成膜面積均勻性
靜
轉(zhuǎn)		Φ200mm±5%L300mm±10%L300mm±10%L400mm±10%
基材加熱沒有任何250℃250℃250℃
控制系統(tǒng)自動的自動的自動的自動的

不包括選項SV-200		渦輪泵非水冷電極
油擴散泵APC機制
多個同時倉庫基材換向機構(gòu)
下站反應(yīng)濺射
常規(guī)陰極
鐵磁材料陰極
射頻蝕刻清洗 (SV-4540)
偏置機構(gòu)（SV-4540）



























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