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日立 超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡
簡要描述：

日立 Regulus8240超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡
日立 超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡
特點(diǎn)：
沿用“SU8200系列“的冷場發(fā)射電子槍*2
采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的優(yōu)良性能
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)

  • 產(chǎn)品型號(hào)：Regulus8240
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間：2024-08-29
  • 訪  問  量：347

詳細(xì)介紹

日立 超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡特點(diǎn)：

  • 沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍*2

  • 采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的優(yōu)良性能
    (Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)

  • 采用污染小、高真空樣品倉

  • 運(yùn)用能量過濾器(選配)，可觀察到多種成分對(duì)比度*2

 

日立 超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡產(chǎn)品介紹：

現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能，配備SU8200系列的低噪音冷場發(fā)射電子槍*1，可以獲得高穩(wěn)定的束流。

通過優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng)，Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。

此外，為充分發(fā)揮超高分辨的能力，放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1。

Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能，通過此功能用戶更容易理解各種復(fù)雜信號(hào)的檢測原理，幫助用戶充分發(fā)揮儀器的優(yōu)良性能。

*1  僅限Regulus8240/8230/8220

產(chǎn)品特點(diǎn)：

  • 沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍

  • *2采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的優(yōu)良性能

(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)

  • 采用污染小、高真空樣品倉

  • 運(yùn)用能量過濾器(選配)，可觀察到多種成分對(duì)比度*2

產(chǎn)品規(guī)格：

 

項(xiàng)目

 Regulus 8100 Regulus 8220 Regulus 8230 Regulus 8240
二次電子分辨率 0.7 nm
（加速電壓15 kV）		 0.6 nm（加速電壓 15 kV）
0.7 nm（著陸電壓 1 kV）*3
0.8 nm
（著陸電壓1 kV）*3
著陸電壓 0.1～2 kV 0.01～20 kV
放大倍率 20～1,000,000倍*4 20～2,000,000倍*4

樣

品

臺(tái)

 樣品臺(tái)控制 3軸馬達(dá)臺(tái)（可選5軸馬達(dá)臺(tái)） 5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)

移

動(dòng)

范

圍

 X 0～50 mm 0～50 mm 0～110 mm 0～110 mm
Y 0～50 mm 0～50 mm 0～110 mm 0～80 mm
R 360°
T -5～70°
Z 1.5～30 mm 1.5～40 mm
再現(xiàn)性 - - - ±0.5 µm以下含
±0.5 µm

 

 

*3  減速模式下觀察

*4  以127 mm × 95 mm底片為基準(zhǔn)的倍率

 

 

 

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